1、深冷空分制氮機：
 

　　深冷空分制氮機是傳統的制氮方法，已經有近幾十年的歷史。以空氣為原料，經過壓縮、凈化，通過熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮沸點的不同(1大氣壓下，前者沸點為-183，后者沸點為-196)，通過液空精餾分離得到氮氣。深冷分批制氮設備復雜、占地面積大、建設費用高、設備一次性投資多、運行成本高、產氣慢(12)24h)、安裝要求高、周期長。綜合設備、安裝及建設的諸多因素，3500Nm3/h以下的設備，相同規格的PSA裝置的投資規模比深冷空分裝置低20%~50%。深冷分割制氮裝置適合大規模工業制氮，但中、小規模制氮不經濟。
 

　　2、分子篩制氮機：
 

　　以空氣為原料，以碳分子篩為吸附劑，采用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附，分離氮和氧的方法，俗稱PSA制氮。該方法是20世紀70年代迅速發展起來的新型制氮技術。與傳統的制氮法相比，工藝簡單、自動化程度高、產氣快(15~30分鐘)、能耗低、產品純度大范圍內可根據用戶需求進行調節、操作維護方便、運行成本低、裝置的適宜性
 

　　3、膜空分制氮機
 

　　以空氣為原料，在一定的壓力條件下，利用氧和氮等不同性質的氣體在膜中有不同的透過速度分離氧和氮。與其他制氫設備相比，具有結構簡單、體積小、無切換閥、維護量少、產氣量快(3分鐘)、增容方便等優點，特別適合氮氣純度為98的小型用戶另一方面，氮純度在98%以上時，與相同規格的PSA制氮機械相比，價格會高出15%以上。